低温泵
1 原理. J8 z9 D1 O8 Q. z( i& L
– 利用低温表面将气体冷凝以实现抽气的一种泵4 c$ l2 U) x5 R7 g9 c$ u6 @! p% ]
– 用低温介质将抽气面冷却到一定温度(如20K)以下,抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体,产生很大的抽气作用。( u t2 m" D+ r ~
2 低温表面的冷却方式) m0 W' |, D1 e) |/ [
– (1) 贮液式低温泵, d8 [! A( }% l9 x' N: F& B+ u' O, G
– (2)连续流动式低温泵
1 T/ M) n M* x– (3)带制冷机的低温泵